Vacuum manipulators eru notaðir til að færa eða staðsetja obláta eða hluti í sérhæfðum tómarúmshólfum og til að meðhöndla efni. Þeir veita aukinn sveigjanleika vegna þess að stífir tenglar eru ekki notaðir. Sumir tómarúmstýringartæki innihalda uppsetningartæki eða endingartæki. Aðrir eru hleðslulásar og vaggastafir. Oft eru tómarúmstýringar notaðar í tengslum við lofttæmishólf. Wafer meðhöndlarar eða vélmenni eru sjálfvirk gerð tómarúmsmeðferðarvéla til að færa oblátur eða undirlag inn í eða út úr PVD, CVD, plasma ætingu eða öðrum lofttæmivinnsluhólf. Til að búa til lofttæmishólf, dælir lofttæmimótor eða lofttæmimótor loftinu úr kerinu þar til æskilegum undirloftþrýstingi er náð. Ef lofttæmishólfið inniheldur ofur-hát lofttæmi, þá verður að nota ofur-hátt lofttæmi og ofur-hát lofttæmi mótor.
1. Einstök hönnun sogskálarinnar getur látið hlutinn rísa eða falla að vild, en einnig snúast í hvaða átt sem er á föstu sæti sogsins til að gera aðgerðina þægilega og nákvæma. Fjarstýringarhönnunin færir reksturinn þægindi og tryggir öryggi notenda.
2. Klemman á tómarúmssogsvélinni samþykkir innflutta sogplötu, með sterkan aðsogskraft, mikið öryggi og verndun vara gegn skemmdum.
3. Tómarúmskraninn getur auðveldlega borið hluti með brothætt, erfitt að lyfta og slétt yfirborð til að bæta skilvirkni, draga úr vinnuafli og spara fyrirtækiskostnað.